[发明专利]用于热敏元件的热机械控制的方法和用于光刻生产过程的设备在审
| 申请号： | 202180047236.9 | 申请日： | 2021-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN115777083A | 公开（公告）日： | 2023-03-10 |
| 发明（设计）人： | V·S·多克;K·范伯克尔;M·G·E·施奈德 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 张宁 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种用于对承受热负荷的热敏元件(MI)进行热机械控制的方法，包括：‑提供热敏元件的非线性热机械模型，该非线性热机械模型描述热负荷的特性与热敏元件的变形之间的动态关系；‑基于非线性模型的优化计算来计算控制信号，‑向加热器(HE)提供致动信号，其中致动信号至少部分地基于控制信号，‑基于致动信号通过加热器加热热敏元件。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 热敏 元件 机械 控制 方法 光刻 生产过程 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司，未经ASML荷兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202180047236.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
