[发明专利]微机械加工的机械部件及其制造方法在审
| 申请号： | 202180048221.4 | 申请日： | 2021-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN116194785A | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·莫姆伦;理查德·贝茨 | 申请（专利权）人： | 格拉斯哥大学校董会 |
| 主分类号： | G01R3/00 | 分类号： | G01R3/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 吴君琴 |
| 地址： | 英国格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明主要涉及一种制造一个或多个独立的微机械加工部件的方法。该方法包括对支撑在载体衬底上的光致抗蚀剂和钨基层进行反应性离子蚀刻，从而限定一个或多个微机械加工部件，然后将所得的一个或多个微机械加工部件与载体衬底分离，使得部件是独立的。本发明还涉及可通过该方法获得的钨基微探针，其中所述微探针在垂直于所述微探针的纵轴的方向上具有基本上正方形或矩形的横截面，本发明还涉及包括多个这种微探针的探针卡。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 加工 机械 部件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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