[发明专利]基于微电机装置的质量流量控制在审
| 申请号： | 202180050413.9 | 申请日： | 2021-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN116670467A | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 尼尔·玛丽;保罗·沃思;徐明;苏斯汉特·科希特;瑞秋·祝慧·谭 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G01F15/00 | 分类号： | G01F15/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文公开了质量流量控制设备、整合该质量流量控制设备的系统，及使用该质量流量控制设备的方法的实施方式。在一个实施方式中，质量流量控制设备包含：流量调节阀，被构造为调节气体流动通道中的气体流动；传感器装置，诸如微电机(MEMS)装置，被构造为响应于气体流动的状态来产生信号；以及处理装置，可操作地耦接到流量调节阀及传感器装置，以基于从传感器装置接收的信号来控制流量调节阀。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 微电机 装置 质量 流量 控制 | ||
【主权项】：
暂无信息
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