[发明专利]辐射源布置和量测装置在审
| 申请号： | 202180053627.1 | 申请日： | 2021-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN116324611A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 阿里·阿尔萨卡;A·帕特尔;帕特里克·塞巴斯蒂安·于贝尔;A·阿布多尔万德;鲍拉斯·安东尼斯·安德里亚斯·特尤尼森;W·F·科安达尔姆 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司;ASML控股股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/35 | 分类号： | G02F1/35 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 胡良均 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了一种辐射源布置，包括：辐射源，辐射源可操作以产生包括源能量脉冲的源辐射；以及至少一个非线性能量滤波器，非线性能量滤波器可操作以对源辐射进行滤波，以获得包括经滤波的能量脉冲的经滤波的辐射。至少一个非线性能量滤波器可操作以，通过使能量水平对应于源能量脉冲的能量分布的两个端部中的一个的源能量脉冲的能量水平比能量水平对应于能量分布的峰值的源能量脉冲的能量水平降低更大量，来减小经滤波的辐射的能量变化。 | ||
| 搜索关键词： | 辐射源 布置 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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