[发明专利]包含光学装置的投射物镜在审
| 申请号： | 202180058649.7 | 申请日： | 2021-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN116057474A | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | K·希尔德;T·格鲁纳;J·利珀特;H·M·斯蒂潘;T·波拉克;J·卡瓦科 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明关于包含投射物镜(408,107,200)的投射曝光装置(400,100)，投射物镜(408,107,200)包含光学装置(1)，光学装置(1)包含具有光学有效表面(2a)的光学元件(2)以及可通过所施加的控制电压产生变形的至少一个电致伸缩致动器(3)，其中电致伸缩致动器(3)功能性地连接到光学元件(2)以影响光学有效表面(2a)的表面形状。控制装置(4)设置以提供控制电压给电致伸缩致动器(3)，其中提供了测量装置(5)，其配置为至少有时在电致伸缩致动器(3)影响光学元件(2)的光学有效表面(2a)时直接地测量和/或间接地决定电致伸缩致动器(3)和/或其周围环境的温度和/或温度变化，以在由控制装置(4)驱动电致伸缩致动器(3)的过程中考虑温度相关影响。 | ||
| 搜索关键词： | 包含 光学 装置 投射 物镜 | ||
【主权项】：
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