[发明专利]用于生成同步射频输出信号的控制单元、射频功率发生器和方法

摘要

本发明描述了一种用于生成各自具有相应的输出频率(fi)、相位(ΦL)和幅度(Ai)的多个同步射频(RF)输出信号(RFout,i)的控制单元(2、21)，该控制单元(2、21)包括：信号比较器(3)，其被配置为将具有参考频率(fref)和参考相位(Φref)的参考信号(4)与具有反馈频率(fPLL)和反馈相位(ΦPLL)的反馈信号(5)进行比较，并且被配置为生成表示参考信号(4)和反馈信号(5)之间的差异的误差信号(6、6’)；以及数据处理单元(7)，其接收由信号比较器(3)生成的误差信号(6、6’)作为输入信号，并根据误差信号(6、6’)输出多个波形调谐信号(FTWPLL、FTWi)；其中多个波形发生器(DDSPLL、DDSi)各自接收由数据处理单元(7)输出的多个波形调谐信号(FTWPLL、FTWi)中的至少一个，其中每个波形发生器(DDSPLL、DDSi)根据接收到的相应的波形调谐信号(FTWPLL、FTWi)生成时间相关的幅度信号(APLL(t)、Ai(t))，其中所生成的多个幅度信号(APLL(t)、Ai(t))的一个预定的幅度信号(APLL(t))表示输入到信号比较器(3)的反馈信号(5)，并且其他幅度信号(Ai(t))表示要生成的相应的射频(RF)输出信号(RFout,i)，并且其中数据处理单元(7)被配置为既调整与表示反馈信号(5)的所述一个预定的幅度信号(APLL(t))相对应的波形调谐信号(FTWPLL)以便使误差信号(6、6’)最小化，又基于表示反馈信号(5)的预定的幅度信号(APLL(t))的调整后的波形调谐信号(FTWPLL)而调整与表示射频(RF)输出信号(RFout,i)的其他幅度信号(Ai(t))相对应的其他波形调谐信号(FTWi)。本发明还描述了分别用于生成多个同步射频(RF)输出信号(RFout,i)的射频(RF)功率发生器(1、20、30)、至少两个这样的射频(RF)功率发生器(1、20、30)的布置(35、40、45、50、55)和方法。