[发明专利]可切换电抗单元、可变电抗、HF发生器和具有可切换电抗单元的阻抗匹配布置在审
| 申请号： | 202180059468.6 | 申请日： | 2021-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN116235410A | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | B·诺德曼 | 申请（专利权）人： | 通快许廷格两合公司 |
| 主分类号： | H03H7/40 | 分类号： | H03H7/40 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种可切换电抗单元(100，101)，所述可切换电抗单元具有HF连接部(112)和电路布置(116)，所述HF连接部用于连接到传输线路(114)上，所述传输线路用于在范围1‑200MHz中的频率的情况下传输信号，所述电路布置具有多个并联置入的切换元件(T1‑T3)，所述切换元件分别具有操控连接部(G)，其特征在于，每个切换元件通过分配给所述切换元件的、与所述切换元件串联连接的至少一个单个电抗(C11‑C13，C21‑C23)连接到所述HF连接部(12)上，其中，所述切换元件通过所述切换元件的操控连接部能够这样操控或者这样操控，使得所述切换元件同时进行切换。还公开一种可变电抗(18，20，22)，所述可变电抗具有可切换电抗单元(100)。还公开一种阻抗匹配布置(11)，所述阻抗匹配布置具有可切换电抗单元(100，101)并且具有控制装置(32)。还公开一种HF功率发生器(40)，所述HF功率发生器具有至少一个可变电抗(18，20，22)。还公开一种等离子体供给系统(1)，所述等离子体供给系统具有HF功率发生器(40)、负载(28)和阻抗匹配布置(11)，所述负载呈以高频(HF)运行的、用于对衬底进行涂覆或者蚀刻的等离子体过程的形式。还公开一种用于例如在等离子体供给系统(1)中运行阻抗匹配布置(11)和/或HF功率发生器(40)的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 切换 电抗 单元 可变 hf 发生器 具有 阻抗匹配 布置 | ||
【主权项】：
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