[发明专利]压电层叠体及压电元件在审
申请号: | 202180066173.1 | 申请日: | 2021-06-11 |
公开(公告)号: | CN116264877A | 公开(公告)日: | 2023-06-16 |
发明(设计)人: | 小林宏之;梅田贤一 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | H10N30/853 | 分类号: | H10N30/853 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 张志楠;褚瑶杨 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种压电层叠体及压电元件,该压电层叠体在基板上依次具备下部电极层、压电膜,其中,下部电极层中的与压电膜接触的区域由金属层构成,金属层的(111)面相对于基板的表面具有1°以上的斜率,压电膜包含含有Pb的钙钛矿型氧化物。 | ||
搜索关键词: | 压电 层叠 元件 | ||
【主权项】:
暂无信息
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