[发明专利]通过PVD由金属靶产生的富Al的AlCrN涂层

摘要

本发明涉及涂层及其生产方法，其中所述涂层包含Al、Cr和N作为主要组分，并具有根据式(AlaCrb)xOyCzNq的关于这些元素的按原子百分比计的化学元素组成，其中a和b分别为铝和铬的原子比浓度，仅考虑Al和Cr以计算所述层中的元素组成，其中a+b＝1且0≠a≥0.7且0≠b≥0.2，且其中x为Al的浓度与Cr的浓度之和，且y、z和q分别为氧、碳和氮的原子比浓度，仅考虑Al、Cr、O、C和N以计算所述层中的元素组成，其中x+y+z+q＝1且0.45≤x≤0.55，0≤y≤0.25，0≤z≤0.25，并且其中所述涂层表现出90％或更多的fcc立方相，和2.5GPa或更大，优选2.5GPa至6GPa的压缩应力。