[发明专利]使用沸石吸附剂存储GeH4的存储及运送容器在审

专利信息
申请号: 202180068668.8 申请日: 2021-10-06
公开(公告)号: CN116324263A 公开(公告)日: 2023-06-23
发明(设计)人: O·比尔 申请(专利权)人: 恩特格里斯公司
主分类号: F17C13/04 分类号: F17C13/04
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 李婷
地址: 美国马*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明描述用于从其中锗烷(GeH4)与包含沸石咪唑骨架的固体吸附剂介质保持吸附关系的容器选择性地施配所述锗烷作为试剂气体的存储及施配系统以及相关方法。
搜索关键词: 使用 吸附剂 存储 geh4 运送 容器
【主权项】:
暂无信息
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