[发明专利]声学传感器在审
| 申请号： | 202180071507.4 | 申请日： | 2021-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN116529556A | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | G·斯托扬诺维奇;J-F·P·苏仁;许国阳;H·王;P·高 | 申请（专利权）人： | ams国际有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/14 | 分类号： | G01B11/14 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 任丽荣 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种声学传感器(100、200、300、400、500)，所述传感器包括激光器(105、205、305、405、505)和膜片(140、240、340、440、540)，所述膜片被配置为在存在声波的情况下振动，并且将由所述激光器发射的辐射向后朝所述激光器反射，以产生对应于所述声波的自混合干涉效应。所述传感器还包括将所述膜片与所述激光器分开并在所述激光器的辐射发射表面的后方延伸的空腔(145、245)，所述空腔的大部分体积设置在所述激光器的辐射发射表面(110、210、410、510)的后方。还公开了一种包括该声学传感器的装置(600)以及制造该声学传感器的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 声学 传感器 | ||
【主权项】：
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