[发明专利]用于显微镜检查的半导体带电粒子检测器在审
| 申请号： | 202180078535.9 | 申请日： | 2021-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN116601530A | 公开（公告）日： | 2023-08-15 |
| 发明（设计）人： | S·尼蒂亚诺维;金井建一;P·拉马钱德拉·拉奥 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G01T1/24 | 分类号： | G01T1/24 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 张宁;杨飞 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 可以提供一种用于带电粒子装置的检测器，包括感测元件，该感测元件包括二极管；和电路，该电路被配置为用于检测由电子撞击感测元件引起的电子事件，其中电路包括电压监测设备和复位设备，其中复位设备被配置为通过将跨二极管的电压设置为预定值来定期复位二极管，并且其中电压监测设备连接到二极管以在复位事件之间监测跨二极管的电压。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 显微镜 检查 半导体 带电 粒子 检测器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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