[发明专利]用于光学装置的光学分辨率测量方法在审
| 申请号： | 202180081206.X | 申请日： | 2021-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN116710744A | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 傅晋欣;孙阳阳;卢多维克·戈代 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G01M11/04 | 分类号： | G01M11/04 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;吴启超 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本文中的实施方式提供一种确定光学装置调制传递函数(MTF)的方法。本文中所述方法包括从光引擎将图案的基线影像投射至检测器。该基线影像被分析以确定基线函数。该基线函数的基线快速傅里叶变换(FFT)或基线MTF被取得。该方法进一步包括从该光引擎将该图案的影像投射至一或更多光学装置。该图案从该一或更多光学装置出耦合至该检测器。该影像被分析以确定函数。对应于该影像取得函数FFT或函数MTF。通过将该基线FFT与通过分析该影像所确定的该函数FFT做比较、或是通过将该基线MTF与通过分析该影像所确定的该函数MTF做比较，来确定该一或更多光学装置的光学装置MTF。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光学 装置 分辨率 测量方法 | ||
【主权项】：
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