[发明专利]流通池涂覆方法在审

专利信息
申请号: 202180083794.0 申请日: 2021-12-14
公开(公告)号: CN116670594A 公开(公告)日: 2023-08-29
发明(设计)人: N·巴拉玛;T·J·迪尔;M·K·弗;B·A·哈诺斯;S·洪;B·科迪拉-卡里亚帕;L·J·克拉特 申请(专利权)人: 伊鲁米纳公司
主分类号: G03F7/40 分类号: G03F7/40
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 陈文平
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 在示例性方法中,将水溶性保护涂料(20)溶液施加在粘结区域(26)以及i)图案化结构的图案化区域或ii)非图案化结构的泳道区域(30)中一者的上方。该图案化区域包括其中具有至少聚合物水凝胶(34)的凹入部(22),以及分隔这些凹入部的间隙区域(24)。该泳道区域包括其中至少具有该聚合物水凝胶的泳道。干燥该水溶性保护涂料溶液以在该粘结区域上方和在i)该图案化区域或ii)该泳道区域中一者的上方形成固体涂层(20)或凝胶涂层(20)。从该粘结区域选择性地去除该固体涂层或该凝胶涂层的部分,与此同时在i)该图案化区域或ii)该泳道区域中一者的上方留下该固体涂层或该凝胶涂层的其它部分。
搜索关键词: 流通 池涂覆 方法
【主权项】:
暂无信息
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