[发明专利]用于基于图案化衬底的图像确定三维数据的装置和方法在审

专利信息
申请号: 202180084294.9 申请日: 2021-11-24
公开(公告)号: CN116615750A 公开(公告)日: 2023-08-18
发明(设计)人: T·厚本;T·J·胡伊斯曼;M·皮萨伦科;S·A·米德尔布鲁克;C·巴蒂斯塔基斯;曹宇 申请(专利权)人: ASML荷兰有限公司
主分类号: G06T7/593 分类号: G06T7/593
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 姚宗妮
地址: 荷兰维*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 本文中描述了用于确定图案化衬底的结构的三维(3D)信息的系统、方法和装置。3D信息可以使用一个或多个模型来确定,该模型被配置为仅使用图案化衬底的单个图像来生成3D信息(例如,深度信息)。在一种方法中,该模型通过获取图案化衬底的结构的一对立体图像来训练。该模型使用该一对立体图像中的第一图像作为输入而生成第一图像与第二图像之间的视差数据,该视差数据指示与第一图像相关联的深度信息。视差数据与第二图像组合以生成与第一图像相对应的重构图像。此外,一个或多个模型参数基于视差数据、重构图像和第一图像被调节。
搜索关键词: 用于 基于 图案 衬底 图像 确定 三维 数据 装置 方法
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司,未经ASML荷兰有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202180084294.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top