[发明专利]用于基于图案化衬底的图像确定三维数据的装置和方法在审
申请号: | 202180084294.9 | 申请日: | 2021-11-24 |
公开(公告)号: | CN116615750A | 公开(公告)日: | 2023-08-18 |
发明(设计)人: | T·厚本;T·J·胡伊斯曼;M·皮萨伦科;S·A·米德尔布鲁克;C·巴蒂斯塔基斯;曹宇 | 申请(专利权)人: | ASML荷兰有限公司 |
主分类号: | G06T7/593 | 分类号: | G06T7/593 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 姚宗妮 |
地址: | 荷兰维*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本文中描述了用于确定图案化衬底的结构的三维(3D)信息的系统、方法和装置。3D信息可以使用一个或多个模型来确定,该模型被配置为仅使用图案化衬底的单个图像来生成3D信息(例如,深度信息)。在一种方法中,该模型通过获取图案化衬底的结构的一对立体图像来训练。该模型使用该一对立体图像中的第一图像作为输入而生成第一图像与第二图像之间的视差数据,该视差数据指示与第一图像相关联的深度信息。视差数据与第二图像组合以生成与第一图像相对应的重构图像。此外,一个或多个模型参数基于视差数据、重构图像和第一图像被调节。 | ||
搜索关键词: | 用于 基于 图案 衬底 图像 确定 三维 数据 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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