[发明专利]曝光装置在审
| 申请号： | 202180092160.1 | 申请日： | 2021-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN116783554A | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 村上晃一;滝上耕太郎;阿部哲也 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;闫剑平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供能够实现微细图案成形的曝光装置。本发明的曝光装置具备射出曝光用光的光源、具有多个曝光用元件且配置在曝光用光的至少一部分的光路上的曝光图案形成装置、以及与曝光图案形成装置电连接的控制单元，控制单元通过将各曝光用元件切换成第1状态或者第2状态，对经由各曝光用元件的曝光用光是否照射至工件进行控制，使经由多个曝光用元件中的第1状态的第一曝光用元件的曝光用光的一部分光、以及经由多个曝光用元件中的与第一曝光用元件不同的第1状态的第二曝光用元件的曝光用光的一部分光伴随工件与曝光图案形成装置的相对移动，依次照射至预定曝光区域的规定区域，由此使规定区域中的曝光量累计。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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