[发明专利]带电粒子光学设备在审
| 申请号： | 202180093973.2 | 申请日： | 2021-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN116941009A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | M·J-J·维兰德;A·V·G·曼格努斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/12 | 分类号： | H01J37/12 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 闫红玉 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了用于检测反向散射带电粒子的各种技术，包括沿着子束路径加速带电粒子子束到达样品、从检测器阵列排斥二次带电粒子，以及提供可以在用于主要检测带电粒子的模式与用于主要检测二次粒子的模式之间切换的装置和检测器。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子 光学 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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