[发明专利]用以侦测漏电流的二极管测试模块及其测试方法在审
| 申请号： | 202210002630.7 | 申请日： | 2022-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN114527363A | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 叶致廷;黄菘志;林昆贤;庄哲豪 | 申请（专利权）人： | 晶焱科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R31/52;H01L21/66;H01L23/544 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种二极管测试模块及其测试方法，公开具有第一导电型的基板及形成于基板上并具有第二导电型的磊晶层。磊晶层上形成有具有第一导电型的井型区，具有第二导电型的第一、第二重掺杂区电性耦接于第一、第二输入输出端，并且理论上应形成于井型区中，其中形成有隔离沟槽提供电性隔离。当输入一操作电压时，本发明提供具有第三、第四重掺杂区的侦测单元，使其设置于第一、第二输入输出端间的电流导通路径上，通过设置侦测单元侦测是否有漏电流的产生，本发明在无须额外进行传统电容测试设备及测试时间的情况下，有效判断其井型区是否丢失。 | ||
| 搜索关键词： | 用以 侦测 漏电 二极管 测试 模块 及其 方法 | ||
【主权项】：
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