[发明专利]一种声表面波传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202210008827.1 | 申请日： | 2022-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN114335319A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 林炳辉;刘炎;蔡耀;詹道栋;孙成亮;孙博文 | 申请（专利权）人： | 武汉敏声新技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/047 | 分类号： | H01L41/047;H01L41/113;H01L41/29;H01L41/312;H03H3/08;H03H9/25 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 崔熠 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种声表面波传感器及其制备方法，涉及传感器技术领域，本发明的声表面波传感器及其制备方法,包括在硅衬底上依次铺设的键合层、金属层和单晶压电薄膜层，单晶压电薄膜层上设置有叉指电极。本发明提供的声表面波传感器及其制备方法，能够提高声表面波传感器的灵敏度、增强机电耦合效应。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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