[发明专利]基于光镊微球的超分辨激光直写与实时成像装置及方法有效
| 申请号： | 202210009224.3 | 申请日： | 2022-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN114077168B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 刘锡;匡翠方;马程鹏;朱大钊;丁晨良;曹春;杨顺华;王洪庆;罗昊;温积森;张智敏;魏震 | 申请（专利权）人： | 之江实验室 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G21K1/00 |
| 代理公司： | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人： | 孙孟辉 |
| 地址： | 311100 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学技术领域，具体公开了一种基于光镊微球的超分辨激光直写与实时成像方法和装置，包括激光器、准直扩束系统、空间光调制器、4f缩束系统、二向色镜、显微物镜、微球、直写基底、三维可控精密位移台、照明光源、照明模块及相机等，所述的激光器出射光经过扩束准直后入射到加载有相位全息图的空间光调制器上面，调制后的光斑经过4f缩束系统入射到显微物镜，在显微物镜焦面形成聚焦光斑阵列同时捕获多个微球，利用微球强聚焦特性配合相位全息图变化，在直写基底上面进行任意图案的高通量超分辨激光直写；同时，微球结合显微物镜可对超分辨激光直写结构进行实时成像，图像由相机采集，实现基于光镊微球的超分辨激光直写与实时成像。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 光镊微球 分辨 激光 实时 成像 装置 方法 | ||
【主权项】：
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