[发明专利]氮化镓纳米超结构及其制备方法以及氮化镓基激光器在审
| 申请号： | 202210009700.1 | 申请日： | 2022-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN114509838A | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 王淼;易觉民;王建峰;徐科 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30;G02B1/00;H01S5/00 |
| 代理公司： | 苏州三英知识产权代理有限公司 32412 | 代理人： | 陆颖 |
| 地址： | 215123 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氮化镓纳米超结构及其制备方法以及设置有该氮化镓纳米超结构的氮化镓基激光器，该氮化镓纳米超结构用于实现氮化镓基激光器圆偏振出光。氮化镓纳米超结构由下至上依次包括衬底、介质膜层以及纳米光栅结构层，所述纳米光栅结构层的光栅材料包括氮化镓、n型氮化镓、p型氮化镓中的一种，光栅周期范围为100nm‑280nm，光栅高度范围为100nm‑300nm，光栅线宽为50nm‑200nm。本发明的氮化镓纳米超结构，其能够实现高效圆偏振出光功能，将其应用于氮化镓基激光器上可实现该氮化镓基激光器的圆偏振出光。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化 纳米 结构 及其 制备 方法 以及 激光器 | ||
【主权项】：
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