[发明专利]一种转动组件和单晶炉用坩埚驱动机构有效
申请号: | 202210015794.3 | 申请日: | 2022-01-07 |
公开(公告)号: | CN114351241B | 公开(公告)日: | 2023-04-07 |
发明(设计)人: | 朱杰;闫树良;武少杰;倪志刚 | 申请(专利权)人: | 苏州轻装工力机电有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 王丽莎 |
地址: | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本申请涉及机械领域,具体而言,涉及一种转动组件和单晶炉用坩埚驱动机构。转动组件包括轴座、转轴;旋转密封件以及隔离件;轴座与转轴通过轴承转动连接;旋转密封件与轴承同轴设置,旋转密封件的固定端设置有贯穿固定端的第一气流道。隔离件一端与固定端连接,且隔离件与转轴之间围设成第二气流道,第二气流道与第一气流道连通。隔离件可以一定程度上避免颗粒物进入转轴和旋转端的连接位置处,在使用过程中,气体依次流过第一气流道和第二气流道后,气体可以携带位于转轴和旋转端连接位置处的至少部分颗粒物离开前述位置,减小颗粒物对旋转密封件的影响,避免旋转密封件卡死,增加旋转密封件的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 转动 组件 单晶炉用 坩埚 驱动 机构 | ||
【主权项】:
暂无信息
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