[发明专利]一种夹心微流控芯片的制作方法在审
| 申请号： | 202210018510.6 | 申请日： | 2022-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN114177962A | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 刁志钿;王喜先;张嘉萍;徐健;马波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院青岛生物能源与过程研究所 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 徐阳威 |
| 地址： | 266100 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种夹心微流控芯片的制作方法，包括以下步骤：制作模具：用硅片制作带有通道结构的模板，再将PDMS高聚物倒入模板上固化形成PDMS层，然后对带有通道结构的PDSM层打孔形成进样口和出样口，最后将PDMS层和玻璃键合形成模具；薄膜制备：将PDMS高聚物灌入模具中固化后形成PDMS薄膜；薄膜脱模：将PDMS层与玻璃剥离，固化后的PDMS薄膜会附着在PDMS层上，完成PDMS薄膜的脱模；薄膜键合：附着有PDMS薄膜的PDMS层与石英片离子体键合，然后将PDMS层缓慢的剥离，完成PDMS层和PDMS薄膜的分离，使PDMS薄膜停留在石英片上；石英片键合：PDMS薄膜远离石英片的一侧键合一块石英片，从而形成石英片‑PDMS薄膜‑石英片的夹心结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 夹心 微流控 芯片 制作方法 | ||
【主权项】：
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