[发明专利]一种宽光谱物镜波像差的测算方法及系统有效
| 申请号： | 202210021978.0 | 申请日： | 2022-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN114441145B | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 马骏;闫力松;赵润川;方斌 | 申请（专利权）人： | 上海精积微半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 武汉东喻专利代理事务所(普通合伙) 42224 | 代理人： | 张英 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明的宽光谱物镜波像差的测算方法包括：搭建物镜的波像差实测光路并获取物镜在标准波长处的波像差实测值；基于物镜的实际光学结构参数搭建物镜的波像差理论仿真光学系统并计算出物镜在标准波长处和待测波长处的波像差的理论差值；基于物镜在标准波长处的波像差实测值以及物镜在标准波长处和待测波长处的波像差的理论差值获取物镜在待测波长处的波像差等效实测值。本发明通过先搭建基于标准波长的物镜波像差实测光路获取物镜在标准波长处的波像差实测值，再基于实际光学结构参数搭建物镜波像差理论仿真光学系统从而获取物镜在标准波长处和待测波长处的波像差的理论差值，进而间接求得物镜在待测波长处的波像差等效实测值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光谱 物镜 波像差 测算 方法 系统 | ||
【主权项】：
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