[发明专利]量测方法在审

专利信息
申请号: 202210022330.5 申请日: 2022-01-10
公开(公告)号: CN115994885A 公开(公告)日: 2023-04-21
发明(设计)人: 黎宇泰;林高祺;谢卓帆;吴登峻;彭成瑜 申请(专利权)人: 财团法人工业技术研究院
主分类号: G06T7/00 分类号: G06T7/00;G06V10/28;G01B11/16
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 张燕华;祁建国
地址: 中国台湾新竹*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种量测方法,包括以下步骤。对待测物形成具有第一特征图案的待测影像。复制所述待测影像以形成多个待测影像,并将所述多个待测影像以叠加影像方式形成待测叠影影像,所述待测叠影影像具有多个所述第一特征图案。对参考物形成具有第二特征图案的参考影像。复制所述参考影像以形成多个参考影像,并将所述多个参考影像以叠加影像方式形成参考叠影影像,所述参考叠影影像具有多个所述第二特征图案。将所述待测叠影影像与所述参考叠影影像相叠,以产生一叠纹影像,所述叠纹影像具有一叠纹图案,所述叠纹图案不同于所述多个第一特征图案,所述叠纹图案不同于所述多个第二特征图案。
搜索关键词: 方法
【主权项】:
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