[发明专利]量测方法在审
申请号: | 202210022330.5 | 申请日: | 2022-01-10 |
公开(公告)号: | CN115994885A | 公开(公告)日: | 2023-04-21 |
发明(设计)人: | 黎宇泰;林高祺;谢卓帆;吴登峻;彭成瑜 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | G06T7/00 | 分类号: | G06T7/00;G06V10/28;G01B11/16 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 张燕华;祁建国 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种量测方法,包括以下步骤。对待测物形成具有第一特征图案的待测影像。复制所述待测影像以形成多个待测影像,并将所述多个待测影像以叠加影像方式形成待测叠影影像,所述待测叠影影像具有多个所述第一特征图案。对参考物形成具有第二特征图案的参考影像。复制所述参考影像以形成多个参考影像,并将所述多个参考影像以叠加影像方式形成参考叠影影像,所述参考叠影影像具有多个所述第二特征图案。将所述待测叠影影像与所述参考叠影影像相叠,以产生一叠纹影像,所述叠纹影像具有一叠纹图案,所述叠纹图案不同于所述多个第一特征图案,所述叠纹图案不同于所述多个第二特征图案。 | ||
搜索关键词: | 方法 | ||
【主权项】:
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