[发明专利]基于反射太赫兹光谱的介质厚度预测、评价方法及系统在审
| 申请号： | 202210023349.1 | 申请日： | 2022-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN114427838A | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 张振伟;关昊;韩思怡;吴迎红;李春连;何箐;李建超;王璐;张存林 | 申请（专利权）人： | 首都师范大学;北京金轮坤天特种机械有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王治东 |
| 地址： | 100048 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于反射太赫兹光谱的介质厚度预测、评价方法及系统，预测方法包括：获取待测区域的太赫兹反射信号并进行预处理；将所述预处理后的待测区域的太赫兹反射信号输入厚度预测模型，获得厚度预测模型输出的所述待测区域的厚度值。评价方法包括：将厚度预测结果与利用时间延迟原理计算得到的厚度结果进行比较，进一步验证预测模型的准确性和适用性。本发明提供的预测方法只需考虑参考波形和已知参考厚度，建立两者的拟合模型，避免了因介质厚度较薄使信号混叠和因太赫兹波传输色散使波形展宽引起的厚度计算误差，为光学薄样品和厚样品的厚度测量提供了新思路，对结构复杂的工业部件的厚度无损检测提供了新的方向。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 反射 赫兹 光谱 介质 厚度 预测 评价 方法 系统 | ||
【主权项】：
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