[发明专利]一种蚀刻液在审
| 申请号： | 202210023908.9 | 申请日： | 2022-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN114277374A | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 李海涛 | 申请（专利权）人： | 肇庆微纳芯材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/30 | 分类号： | C23F1/30;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京开阳星知识产权代理有限公司 11710 | 代理人： | 丁继恩 |
| 地址： | 526200 广东省肇庆市四会*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种蚀刻液，用于平板显示制程中银纳米线透明导电膜的蚀刻处理，属于金属材料表面处理技术领域。所述蚀刻液包含无机酸、有机酸、无机酸盐、表面活性剂、助剂和去离子水，所述助剂含有苯并咪唑类化合物，其结构式如下： |
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| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 | ||
【主权项】：
暂无信息
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