[发明专利]一种输送磷化铟晶体的设备及检测工艺有效
申请号: | 202210024436.9 | 申请日: | 2022-01-11 |
公开(公告)号: | CN114029258B | 公开(公告)日: | 2022-03-22 |
发明(设计)人: | 潘功寰;顾正伟 | 申请(专利权)人: | 常州德匠数控科技有限公司 |
主分类号: | B08B1/00 | 分类号: | B08B1/00;B08B1/04;B08B13/00 |
代理公司: | 常州市科谊专利代理事务所 32225 | 代理人: | 钮云涛 |
地址: | 213000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及磷化铟晶体技术领域,尤其涉及一种输送磷化铟晶体的设备及检测工艺,所述输送磷化铟晶体的设备,包括,工业机器人、设置在所述工业机器人的主轴上方的清洁部和设置在所述工业机器人机械手端部的连接部,所述连接部包括连接轴和与所述连接轴连接的夹持部,所述连接轴包括轴体、设置在所述轴体端部的若干台阶轴和卡接在尺寸最小的所述台阶轴上的卡套,所述夹持部与所述台阶轴过盈连接,若干所述台阶轴的侧壁上均开设有若干通孔,所述卡套上固定连接有适于卡在所述通孔上的台阶杆,所述连接轴内还设有弹性夹,所述弹性夹抵住所述台阶杆设置,以固定所述台阶杆。 | ||
搜索关键词: | 一种 输送 磷化 晶体 设备 检测 工艺 | ||
【主权项】:
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