[发明专利]一种金属氧化物半导体气体传感器及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 202210025951.9 | 申请日： | 2022-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN114354724B | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 仝召民;舒宏伟;牛峰 | 申请（专利权）人： | 山西大学 |
| 主分类号： | G01N27/414 | 分类号： | G01N27/414 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 藏斌 |
| 地址： | 030006 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明属于气体传感器领域，尤其涉及一种金属氧化物半导体气体传感器及其制备方法和应用。本发明提供的气体传感器包括：导电纤芯；包覆在所述导电纤芯侧面的二氧化硅包层；缠绕固定于所述二氧化硅包层表面的两个气体检测电极；包覆在所述二氧化硅包层表面的金属氧化物半导体层，两个所述气体检测电极的自由端从所述金属氧化物半导体层穿出；和设置在所述导电纤芯两端的加热电极。本发明提供的气体传感器以导电纤芯作为热源，以二氧化硅作为绝缘基底，具有热源利用率高、体积小、制备工艺简单等优点，且该气体传感器还具有一定的柔韧性，使金属氧化物半导体气体传感器的柔性可穿戴应用成为可能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 氧化物 半导体 气体 传感器 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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