[发明专利]一种微区X射线光谱分析系统在审
申请号: | 202210028810.2 | 申请日: | 2022-01-11 |
公开(公告)号: | CN114354661A | 公开(公告)日: | 2022-04-15 |
发明(设计)人: | 孙学鹏;孙天希;李成波 | 申请(专利权)人: | 北京师范大学 |
主分类号: | G01N23/04 | 分类号: | G01N23/04;G01N23/083;G01N23/2206;G01N23/223 |
代理公司: | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人: | 刘妮 |
地址: | 100875 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种微区X射线光谱分析系统,包括:X射线光束会聚模块、样品探测模块、计算机;所述X射线光束会聚模块用于获得聚焦的X射线微焦斑;所述X射线微焦斑包括多色微区X射线微焦斑和单色微区X射线微焦斑;所述样品探测模块用于探测样品被所述X射线微焦斑激发后所产生的特征信号;所述计算机用于根据所述特征信号获得样品表面相关信息。本发明提出的微区X射线光谱分析装置采用组合透镜的方式,通过毛细管透镜与平晶的组合,可以根据需求产生多色或单色聚焦X射线微束,扩展了其应用范围。 | ||
搜索关键词: | 一种 射线 光谱分析 系统 | ||
【主权项】:
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