[发明专利]饱满点的监测方法、存储介质、终端和拉晶设备有效
| 申请号： | 202210033284.9 | 申请日： | 2022-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN114387251B | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 何开振;纪步佳;董志文;杨君;庄再城;胡方明;杨国炜;纪昌杰;曹葵康;薛峰 | 申请（专利权）人： | 苏州天准科技股份有限公司;苏州天准软件有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/11;G06T7/136;G06T7/13;G06T7/62;C30B15/26;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京千壹知识产权代理事务所(普通合伙) 11940 | 代理人： | 王玉玲 |
| 地址： | 215153 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种饱满点的监测方法、存储介质、终端和拉晶设备，属于半导体领域，方法包括采集图像、亮区域定位、阈值分割、状态判断，当判定为常态则计算常态饱满点突出外光圈距离d，当判定为非常态，则根据动态阈值分割算法检测得到非常态饱满点；拉晶设备包括炉体、旋转坩埚、拉晶单元、状态监测单元、加料器和控制器，根据饱满点维持时间判定是否可以进入后续引晶阶段，以此提供判定依据；本发明基于图像处理和距离计算，判定饱满点状态，以此实现实时的智能化监控拉晶动态，保证拉晶状态的稳定，并提高拉晶质量，便于在半导体制造领域推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 满点 监测 方法 存储 介质 终端 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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