[发明专利]拉晶过程中光圈直径的监测方法、存储介质和终端有效
| 申请号： | 202210033288.7 | 申请日： | 2022-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN114399489B | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 庄再城;杨国炜;何开振;董志文;杨君;胡方明;纪步佳;刘明星;曹葵康;薛峰 | 申请（专利权）人： | 苏州天准科技股份有限公司;苏州天准软件有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/62;G01B11/08 |
| 代理公司： | 北京千壹知识产权代理事务所(普通合伙) 11940 | 代理人： | 王玉玲 |
| 地址： | 215153 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种拉晶过程中光圈直径的监测方法、存储介质和终端，属于半导体量检测领域，方法包括图像采集并判定当前拉晶阶段、根据拉晶阶段定位光圈区域R、提取目标轮廓、圆拟合、计算拟合圆的直径d,即为光圈直径；通过本方法可以对拉晶过程不同阶段的炉内图像实时采集并监测光圈直径，为稳定拉晶状态提供了辅助判定依据，以此提高了拉晶质量，便于在半导体制造领域推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 过程 光圈 直径 监测 方法 存储 介质 终端 | ||
【主权项】：
暂无信息
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