[发明专利]一种高功率激光传感器及激光功率计

摘要

本发明公开了一种高功率激光传感器及激光功率计，该激光传感器包含从上至下依次设置的：热电薄膜敏感单元、热电致冷单元和散热单元。热电薄膜敏感单元中，倾斜(AB)n多层膜设置在衬底的上表面，其由两种不同的材料A和材料B交替堆砌而成，材料A和B的熔点均高于900℃，倾斜(AB)n多层膜的电阻小于或等于100欧姆；衬底为高导热且绝缘的衬底；金属电极对称且平行地设置在倾斜(AB)n多层膜上表面的两端；金属导线的一端与金属电极连接，另一端用于与信号采集系统连接。本发明的激光传感器在没有水冷的情况下便可以直接用于千瓦级高功率连续激光的功率密度测量，以及用于焦耳级短脉冲激光能量密度的测量。