[发明专利]适用于真空与复杂电磁环境的空间真空传感器在审
| 申请号： | 202210036415.9 | 申请日： | 2022-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN114383771A | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 史纪军;窦仁超;崔寓淏;郭崇武;任国华;齐嘉东;孙立臣;孟冬辉;孙立志;李文斌;张海峰;齐飞飞;袁翠平;汪力;刘恩均 | 申请（专利权）人： | 北京卫星环境工程研究所 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 郭栋梁 |
| 地址： | 100094 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了适用于真空与复杂电磁环境的空间真空传感器，包括适用于真空与复杂电磁环境的空间用真空传感器，所述适用于真空与复杂电磁环境的空间用真空传感器包括底座和MEMS压力传感器芯片，所述MEMS压力传感器芯片封装在柱塞接头处，所述MEMS压力传感器芯片与连接密封板采用灌封胶形成密封隔板，所述MEMS压力传感器芯片焊接在传感器基板上。本发明中，本申请的目的在于克服地面环境模拟试验中航天器表面、内部真空度测量的工作时间短、容易受污染、测量复杂等问题，提供一种可在宇宙空间环境和航天器热真空试验等空间环境模拟试验中应用的真空传感器，提高航天器表面真空度测量的工作时长、简化真空度测量防护装置。 | ||
| 搜索关键词： | 适用于 真空 复杂 电磁 环境 空间 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京卫星环境工程研究所，未经北京卫星环境工程研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210036415.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
