[发明专利]晶圆快速预对准方法、装置、电子设备及存储介质在审
| 申请号： | 202210038925.X | 申请日： | 2022-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN114549599A | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 文黎波;王秀海;赵英伟;吴爱华;翟玉卫;郝晓亮;马培圣;曹健;张文雅 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G06T7/33 | 分类号： | G06T7/33;G06T7/13;G06T7/00;G06T3/00;H01L21/68 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 张一 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶圆快速预对准方法、装置、电子设备及存储介质。该方法包括：对目标晶圆的灰度图像进行边缘检测，获得目标晶圆的轮廓二值图像；降低轮廓二值图像的分辨率，获得对应的低分辨率图像；对低分辨率图像中的轮廓进行直线检测，获得低分辨率图像中对应的平边端点粗坐标；基于平边端点粗坐标在轮廓二值图像中对应的预设邻域图像进行直线检测，获得轮廓二值图像中对应的平边端点精坐标；根据平边端点精坐标对目标晶圆的轮廓进行圆拟合，获得轮廓对应的圆心坐标和平边旋转角，以基于圆心坐标和平边旋转角对目标晶圆进行对准。本发明能够有效提高直线检测获得平边端点坐标的速度，进而缩短晶圆预对准时间，提高晶圆预对准的实时性和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 快速 对准 方法 装置 电子设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
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