[发明专利]一种测量超表面相位的方法及系统在审
| 申请号： | 202210043802.5 | 申请日： | 2022-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN114397092A | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 谭凤泽;郝成龙;朱健 | 申请（专利权）人： | 深圳迈塔兰斯科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 | 代理人： | 夏欢 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝安区新安街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种测量超表面相位的方法及系统，其中，该方法包括：设置相干的测量光和参考光；在测量光的光路中设有以及未设有待测超表面的情况下，为目标光路分别引入多个相位，并确定在引入多个相位时测量光与参考光生成的干涉图样，以及相位分布；基于两个相位分布之间的差值确定待测超表面的相位分布。通过本发明实施例提供的测量超表面相位的方法及系统，只需要将待测超表面移动至测量光的光路或者从测量光的光路中移出待测超表面，不需要精确移动器件；且利用相位调制器可以直接引入相位，方法简单，可以精确控制所引入的相位，能够简单、精确地确定待测超表面的相位分布。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 表面 相位 方法 系统 | ||
【主权项】：
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