[发明专利]一种无氟清洗剂、其制备方法及应用有效
| 申请号： | 202210048666.9 | 申请日： | 2022-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN114317127B | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 张爱强;陈婷;马克·奈舍;卢聪杰;罗松松;赖委舜 | 申请（专利权）人： | 嘉庚创新实验室 |
| 主分类号： | C11D1/22 | 分类号： | C11D1/22;C11D1/74;C11D3/04;C11D3/20;C11D3/22;C11D3/26;C11D3/28;C11D3/30;C11D3/32;C11D3/34;C11D3/60;C11D7/08;C11D7/26;C11D7/32;C11 |
| 代理公司： | 北京正桓知识产权代理事务所(普通合伙) 11979 | 代理人： | 于宝庆 |
| 地址： | 361003 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种无氟清洗剂，所述无氟清洗剂为水性清洗剂；所述无氟清洗剂包括水、有机溶剂与胺类化合物；所述有机溶剂的质量为无氟清洗剂质量的15％～85％；所述胺类化合物的质量为无氟清洗剂质量的5％～50％；还包括腐蚀抑制剂、酸与醇类化合物中的一种或多种。与现有技术相比，本发明提供的无氟清洗剂通过特定的胺类化合物与腐蚀抑制剂、酸及醇中的一种或多种协同作用在不含有氟元素的情况下也具有较好的清洗能力，同时还可降低清洗液对金属的腐蚀，防止对基底介质产生破坏，提高清洗后晶圆的耐候性。与现有同类产品比，本发明提供的无氟清洗剂具有降低清洗温度、清洗时间以及更高性价比等明显优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 无氟清 洗剂 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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