[发明专利]一种铂辅助催化的碳纳米管生长方法在审
| 申请号： | 202210050762.7 | 申请日： | 2022-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN114635121A | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 唐红斌;董长昆 | 申请（专利权）人： | 温州大学 |
| 主分类号： | C23C16/26 | 分类号： | C23C16/26;C01B32/162;C23C14/16;C23C14/34;C23C16/02 |
| 代理公司： | 温州名创知识产权代理有限公司 33258 | 代理人： | 陈加利 |
| 地址： | 325000 浙江省温州市瓯海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铂辅助催化的碳纳米管生长方法，其包括有以下步骤：(1)预处理：对含镍或其它催化金属的金属基片进行表面清洗、干燥；(2)将预处理过的合金基片表面上溅射铂层，溅射完成后；(3)将步骤(2)处理后的金属基片放在CVD系统中进行生长碳纳米管。通过试验表征，该方法所制备的碳纳米管具有随机取向性，并且整体形貌都表现出比较好的均匀性，这种随机取向性以及良好的均匀性可以减少发射热点的产生，避免大电流发射下边缘效应使得局部区域过大的焦耳热导致碳管烧毁或者损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 辅助 催化 纳米 生长 方法 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
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