[发明专利]一种多工位充排气设备以及充排气方法有效
| 申请号： | 202210051503.6 | 申请日： | 2022-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN114388318B | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 孙晓恺;刘继东;黄振宇 | 申请（专利权）人： | 苏州中科科美科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/385 | 分类号： | H01J9/385;H01J9/395;F04B37/14;F04B41/06;F04B49/22;F04B49/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多工位充排气设备以及充排气方法，其技术要点包括：包括：2个以上的工位、充气设备、排气设备；所述工位包括：载物工具、容器组件，所述容器组件放置在载物工具上；所述排气设备用于对工位上设置的容器进行抽气；所述充气设备用于对工位上设置的容器进行充气。采用本申请的一种多工位充排气设备以及充排气方法，方便指导旧有设备的改造。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多工位充 排气 设备 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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