[发明专利]设置有微结构的柔性压力传感器及其制造方法在审
| 申请号： | 202210053265.2 | 申请日： | 2022-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN114414108A | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 冯雪;张瑞平;王鹏 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;G01L1/14;G01L1/16;G01L9/06;G01L9/08;G01L9/12 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供了设置有微结构的柔性压力传感器及其制造方法。设置有微结构的柔性压力传感器传感器本体(1)与微结构(2)，在传感器本体(1)所处的三维空间中，传感器本体(1)的受压方向垂直于传感器本体(1)的底面，传感器本体(1)与微结构(2)在传感器本体(1)的底面所在平面的正投影不重叠，且在受压方向上，微结构(2)的受压面的顶点高于或平齐于传感器本体(1)的受压面的顶点，使得传感器本体(1)受到压力时，微结构(2)能够分担压力。设置有微结构的柔性压力传感器的制造方法包括准备传感器，传感器为柔性压力传感器；准备微结构(2)；将传感器与微结构(2)连接为整体。 | ||
| 搜索关键词： | 设置 微结构 柔性 压力传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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