[发明专利]一种剪切体声波谐振器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种剪切体声波谐振器，包括衬底和背面附接在所述衬底上的压电基板，所述衬底朝向所述压电基板一侧设有空腔；所述压电基板背面设有位于所述空腔内的下叉指换能器，所述压电基板正面与所述下叉指换能器对称的位置设有上叉指换能器，所述下叉指换能器与所述上叉指换能器位置对应的电极极性相同。本发明通过在压电基板的两侧设置位置相对的叉指换能器，并使两者极性相同，使得压电基板上下表面产生的沿厚度方向的极化电场相互抵消，从而减小了质点偏振时沿厚度方向的位移分量，进而减少导纳曲线上的杂波，也提高了器件的Q值。