[发明专利]一种基于零椭偏暗场照明的散射干涉成像系统及方法有效
| 申请号： | 202210057225.5 | 申请日： | 2022-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN114371148B | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 庞陈雷;杨青;王智;陆宏杰;罗志荣;王兴锋;刘旭 | 申请（专利权）人： | 之江实验室 |
| 主分类号： | G01N21/47 | 分类号： | G01N21/47;G01N21/45;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理有限公司 11435 | 代理人： | 奚丽萍 |
| 地址： | 310023 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于零椭偏暗场照明的散射干涉成像系统及方法，包括照明光路，探测光路和参考光路，所述照明光路的入射端设置有被检测样品，所述探测光路的发射端设置有被检测样品，所述参考光路的入射端设置有所述探测光路；所述照明光路和所述探测光路的连接处设置有零椭偏模块，所述零椭偏模块的一端与照明光路连接，所述零椭偏模块的另一端与探测光路连接。本发明通过照明光路与探测光路的非共路设计，实现对背景杂散光的有效抑制，降低检测系统对探测物镜数值孔径的依赖；同时，结合干涉探测的优势，实现对被检测样品表面小尺寸特征的宽视场高灵敏检测能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 零椭偏 暗场 照明 散射 干涉 成像 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于之江实验室，未经之江实验室许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210057225.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种遥控式电力施工放线制动装置
- 下一篇：一种燃料电池密封结构
