[发明专利]精准控制氮气供应的氮化铝粉末制备石墨炉有效
| 申请号： | 202210060870.2 | 申请日： | 2022-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN114543523B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 黄文思;杨大胜;施纯锡;冯家伟 | 申请（专利权）人： | 福建华清电子材料科技有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;F27D7/06;C01B21/072 |
| 代理公司： | 泉州协创知识产权代理事务所(普通合伙) 35231 | 代理人： | 王伟强 |
| 地址： | 362200 福建省泉州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种精准控制氮气供应的氮化铝粉末制备石墨炉，包括配气系统和两个反应装置，配气系统具有配气动力件和两个联动的配气装置，各配气装置均包括配气进气口和配气出气口，各配气装置均包括配气箱体、主动配气活塞和进排气控制组件，配气箱体具有压气腔，配气动力件推动相邻两个配气装置上的主动配气活塞沿压气腔滑动，进排气控制组件包括进排气控制杆，主动配气活塞沿压气腔滑动使压气腔容积最大时进排气控制杆打开配气进气口而密封配气出气口，主动配气活塞沿压气腔滑动使压气腔容积由最大逐渐变小的过程中，进排气控制杆密封配气进气口而打开配气出气口，保证各反应装置相同的供气量，保证相同的产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 精准 控制 氮气 供应 氮化 粉末 制备 石墨 | ||
【主权项】：
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