[发明专利]多层膜劳厄透镜及其设计方法在审
申请号: | 202210063039.2 | 申请日: | 2022-01-19 |
公开(公告)号: | CN114496337A | 公开(公告)日: | 2022-05-13 |
发明(设计)人: | 冀斌;常广才;岳帅鹏;杨一鸣;周亮 | 申请(专利权)人: | 中国科学院高能物理研究所 |
主分类号: | G21K1/06 | 分类号: | G21K1/06;G02B5/18;G02B27/00 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 刘进 |
地址: | 100049 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本申请公开了一种多层膜劳厄透镜及其设计方法,透镜包括基底层和设置在所述基底层上的衍射结构,所述衍射结构包括叠层设置的多个周期,每个所述周期均包括叠置的吸收层和间隔层,所述周期从靠近所述基底层向远离所述基底层的方向,厚度逐渐减小;每个所述吸收层和所述间隔层的截面深度为最佳截面深度*(1‑修形参数Q),其中,Q为0.4‑1之间的任意值。根据本申请实施例提供的技术方案,通过对多层膜劳厄透镜进行修形,通过修形来实现对在制备透镜过程中产生的结构误差的补偿,不需要其他辅助光学元件的情况下,缩小其与理想的多层膜劳厄透镜出射面电场之间的差异,从而改善实际制备所得的多层膜劳厄透镜的聚焦性能。 | ||
搜索关键词: | 多层 膜劳厄 透镜 及其 设计 方法 | ||
【主权项】:
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