[发明专利]真空与加压系统、实现方法和介质在审

专利信息
申请号: 202210068514.5 申请日: 2022-01-20
公开(公告)号: CN114440118A 公开(公告)日: 2022-05-06
发明(设计)人: 涂云宏;李壮;张东伟;梁学锋;冯江涛;史建芳;颜丙雷 申请(专利权)人: 北京国科环宇科技股份有限公司
主分类号: F17C5/00 分类号: F17C5/00;F17C7/00;F04B37/12;F04B37/14;F04B41/02;F04B41/06
代理公司: 北京开阳星知识产权代理有限公司 11710 代理人: 祝乐芳
地址: 100190 北京市海淀区知春路*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 本公开涉及一种真空与加压系统、实现方法和介质;其中,该系统包括:储气瓶组件、第一开关设备、第一接头、实验腔体组件、第二接头、第二开关设备、第一气体抽取设备、第三开关设备、升压设备、第四开关设备、第五开关设备以及第二气体抽取设备;第二气体抽取设备,用于基于第二接头将实验腔体组件中的实验腔体抽取至真空状态;储气瓶组件,用于在第一开关设备处于打开状态且实验腔体处于真空状态时,基于第一接头将储气瓶组件中的气体释放至实验腔体中;第一气体抽取设备,用于基于第二接头将实验腔体中的气体回收至储气瓶组件中。本公开实施例能够实现抽取真空与加压两个过程,且能够节省资源,有利于延长系统的使用寿命。
搜索关键词: 真空 加压 系统 实现 方法 介质
【主权项】:
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