[发明专利]一种硅光三维集成光谱仪及其光学芯片的制备方法在审
| 申请号： | 202210070515.3 | 申请日： | 2022-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN114280724A | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 陈晓刚;胡朝阳 | 申请（专利权）人： | 苏州海光芯创光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/122 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 徐会娟 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市中国（江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种硅光三维集成光谱仪及其光学芯片的制备方法，涉及光谱仪技术领域，能够通过将三维光学耦合器阵列置于硅光芯片之上，节省大量的芯片面积，提高集成度，且使直接照射采光成为可能，提高耦合效率；该光谱仪包括由若干三维光学耦合器组成的耦合器阵列以及由若干光电探测器组成的光电探测器阵列；所述三维光学耦合器包括依次耦合连接的底层硅光芯片和竖直微环(VμRC)，用于将波长与其共振耦合波长匹配的入射光耦合进耦合器中并通过底层硅光芯片的硅光波导传输给对应的光电探测器；所述光电探测器用于实现对入射光光谱的探测；所述耦合器阵列中不同三维光学耦合器的共振耦合波长呈渐变设计。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三维 集成 光谱仪 及其 光学 芯片 制备 方法 | ||
【主权项】：
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