[发明专利]一种193nm光刻胶成膜树脂及其制备方法和正型光刻胶组合物在审
| 申请号： | 202210070846.7 | 申请日： | 2022-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN114874384A | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 曾伟 | 申请（专利权）人： | 南通林格橡塑制品有限公司;连云港百利合新材料发展有限公司 |
| 主分类号： | C08F220/28 | 分类号： | C08F220/28;C08F220/18;G03F7/039 |
| 代理公司： | 连云港中联润智专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 32572 | 代理人： | 严敏 |
| 地址： | 226661 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种193nm光刻胶成膜树脂及其制备方法和正型光刻胶组合物，属于半导体微电子化学技术领域。所述193nm正型光刻胶含有成膜树脂以及光致产酸剂，所述成膜树脂含有如下按摩尔百分比计的组分：含胆酸衍生物的组成单元5％～40％；含极性基团的组成单元10％～50％；含酸敏基团单元10％～40％；所述胆酸衍生物单元是指符合化学通式(Ⅰ)的至少一种化合物；所述极性基团的组成单元是指符合化学通式(Ⅱ)的至少一种化合物；所述酸敏基团单元是指符合化学通式(Ⅲ)的至少一种化合物。本发明引入含胆酸衍生物作为成膜树脂单元，可以提高成膜树脂黏附性、溶解抑制效果以及图形对比度，减小线边缘粗糙度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 193 nm 光刻 胶成膜 树脂 及其 制备 方法 组合 | ||
【主权项】：
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