[发明专利]一种硅片背检设备和背检方法在审
| 申请号： | 202210071123.9 | 申请日： | 2022-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN114527142A | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 孙良峰;沈锦华 | 申请（专利权）人： | 合肥御微半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 郭德霞 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅片背检设备和背检方法，该设备中螺旋导轨座上设置有自中心向边缘螺旋排布的第一凹槽，连杆的一端通过旋转轴连接在螺旋导轨座的中心，连杆的另一端绕螺旋导轨座的中心做圆周运动，滑块套设于在连杆上，滑块邻近第一凹槽的一侧设置有第一滚轮，远离第一凹槽的一侧布置有视觉检测装置，所述第一滚轮至少部分设置于所述第一凹槽内；驱动装置，驱动装置与旋转轴连接，用于驱动连杆旋转，以带动第一滚轮沿第一凹槽移动，同时带动滑块在连杆上滑动，使得视觉检测装置的移动轨迹为螺旋轨迹；承载台，用于承载待测硅片，待测硅片背向视觉检测装置的视场方向，从而，在简化螺旋扫描设备结构的基础上同时还可以保证检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 设备 方法 | ||
【主权项】：
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