[发明专利]一种多腔体化学气相沉积设备

摘要

本发明公开了一种多腔体化学气相沉积设备，包括箱体，所述箱体上设有气体供给结构，所述箱体内部通过若干个分隔结构分隔成多个腔体，所述箱体内部设有若干个加热结构，所述箱体内部设有若干个升降结构，若干个所述升降结构上均设有载物结构，本发明的有益效果是，在沉积时间较长的情况下，如金刚石膜、非晶硅膜，但不仅限于金刚石膜和非晶硅膜，可以在三个、十个或多个腔体的设备中同时进行沉积，一次性规模化完成膜材料的工业制备，节省了硬件投资成本和运行成本；在复杂的工艺条件和顺序下，视工艺条件而定，沉积工艺可以在单腔体中进行，通过升降台调整基板和热丝以及气体分配系统的距离，避免发生副反应，影响产品质量。