[发明专利]阴极结构及包含此阴极结构的离子化金属等离子装置在审
| 申请号： | 202210073822.7 | 申请日： | 2017-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN114361003A | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 江浩宁;庄凯富;洪祥堡;郭俨颉;高铭祥;庄铭德 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本揭露有关于一种阴极结构及包含此阴极结构的离子化金属等离子装置。阴极结构是适用于等离子装置。此阴极结构包含曲面实心部、固定部及容置部，容置部设置于曲面实心部及固定部之间。曲面实心部包含底表面及顶曲面。顶曲面的周缘完全地连接底表面的周缘。固定部是配置以固定阴极结构于等离子装置上。容置部是配置以容置等离子装置的阴极灯丝，并连接曲面实心部的底表面及固定部。 | ||
| 搜索关键词： | 阴极 结构 包含 离子化 金属 等离子 装置 | ||
【主权项】：
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